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超高精度電鑄造微細管

照片產品：Φ0.015mm

組成材質：不銹鋼,、鈹銅等

薄膜材質：鎳,、銅、金等

外徑尺寸：0.03mm

一般公差：±0.005mm

精密公差：0.0005mm（更高精密也對應）

總長：2000mm

隨著集成電路規(guī)模的日益增大,，元器件越來越小,，各種微電子電路的尺寸間距、引線都已突破微米向納米前進,，這就產生了超微加工技術,。

這種技術的關鍵是形成微加工區(qū)和引線光刻技術。為了提高加工精細水平,，由傳統的接觸掩膜光刻發(fā)展到投影光刻,，并采用波長短的紫外光同步輻射或電子束作為光（輻射）源，用它們進行曝光可以獲得更高的分辨能力,。與超精細光刻技術配合的超微加工技術還有自對準技術,、離子注入摻雜、激光淀積布線,。今后的微細加工方向,，將是對這些裝置進行改良，開發(fā)分辨能力更高的抗蝕劑,，以及采用能看到原子的掃描隧道顯微鏡STM和場離子顯微鏡FIM等,。

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